非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承,由于工作在平面度较好的花岗岩表面,因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性,特别适用于高精度检测以及超精加工领域。对射式非接触式同轴激光位移传感器测量?直线电机高精度龙门运动机构?兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量?共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性?兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)?晶圆的测量厚度范围为10um-20mm?抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架?比较大扫描速度1m/s?可自定义生成快速便捷的自动化测量模式?直观简单的2D或3D数据呈现方式?适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器,期待您的光临!上海点光谱共焦传感器精度
STIL光学传感器为全球各个行业提供更好的质量控制,我们的产品系列适合于各种应用,为更高的质量标准提供可靠的控制和检测。1995年推出点光谱共焦传感器,2005年创新推出线光谱共焦传感器,2015出现线光谱共焦相机,通过持续创新,2025年将推出适用于工业4.0智能解决方案。在严苛的工业环境下客户要求速度、精度、质量和安全满足的同时,也要求减少对环境的影响和降低成本,这正是STIL传感器产品系列具有的优势。适用于任何材料同轴共焦原理兼容任何折射,同轴共焦原理,易于工业集成,大角度测量,符合ISO25178-602标准。光谱共焦的特点:1.共焦对环境光不敏感可过滤杂波;2.彩色光谱在测量范围内形成彩色光谱,各种景深3.光谱仪通过嵌入式光谱仪对反射或漫反射进行光谱分析,快速并精确4.同轴同轴光学设计,无阴影影响。可靠、精确、超高分辨率的尺寸测量;高速在线解决方案;适用各种材料和环境;优于传统测量方案的其他特性,如:大角度测量,亚微米级精度,测量多层厚度。上海非接触式传感器技术点对点厚度测量, 2个传感器和2个单通道控制器或1个双通道控制器点对点测量对于边缘区域可使用卡钳结构测量。
优势?具有自主知识产权的算法和软硬件设计?·具备高速原始点云传输能力?·具备深度图输出对接各大机器视觉软件?·高达2048测量点的X向轮廓检测?·出色的光学设计,可检测高反光、玻璃等材料?·405nm蓝色激光,面向精密电子与汽车钣金行业需求?·1P67防护等级,防尘、防水、抗震?·可靠工作于0-50℃技术特点产品基于激光三角法测量原理:图像传感模组从一个角度检测投射到被测物体表面上的激光线,反射光透过高质量光学系统,被投射到成像单元上。图像处理计算传感器到被测表面的高度方向(Z轴)和沿着激光线的方向(x轴)的距离信息。通过移动被测物体或传感器,获取的一系列切片信息进行组合,就可以得到三维数据。
激光干涉位移传感器激光干涉仪:超精密皮米位移传感器可实时测量位移、运动和振动,并具有10MHz的数据带宽。一个控制器可连接三个传感测头。认证精度稳定的激光源可确保在纳米范围内获得认证的重复性和准确性。PTB(德国联邦物理技术研究院)已正式测试井证明了lDS3010的高精度。此外,每个IDS3010都是NIST可追踪的。大距离范围IDS3010够进行从几毫米到30m的动态位移测量。高达10Mhz的高带宽,即使在远距离情况下也可以进行振动检测。紧凑和模块设计IDS3010控制器和传感器头的基于光纤的微型化设计允许集成到空间受限的系统中。它的模块化使更换和重新安排变得容易。真空兼容传感头和光纤甚至可以在极端环境下工作,例如高真空,超高真空,低温或辐射恶劣的环境。机械手表:用于在线测量的传感器比较大样本斜率±45°;高达±88°的漫反射。
随着汽车行业的竞争加剧,各厂家对产品的品质要求会更高。汽车四大生产工艺冲压/焊装/涂装/总装的生产线上大量的视觉装置已经逐步应用起来。以前人们对视觉传感器有一种恐惧心理,认为其操作复杂,设定繁琐;其实现在厂商使用的都是菜单化操作,并将频繁使用的操作转化为控制器上的特定按钮,单触发就可以完成菜单的转换。司逖光谱共焦传感器不仅*在质量监控方面起着举足轻重的地位,在设备的预防保全方面同样也有用武之地。例如在涂装/总装使用的输送链,经常因为链条的疲劳老化断裂而产生断链的故障,并且修复时间长严重影响生产。如果能对链条的拉伸变化量进行测量,就可以在疲劳断裂前进行更换,从而减少停机时间,降低成本,司逖光谱共焦传感器的位移监测正可以做到这一点!同时传感器的高速计测可以在输送链运行时作检测,根据存储的数据,维修人员作出保养维护计划。马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器,有需要可以联系我司哦!上海2D 测量传感器品牌
STIL光谱共焦传感器对被测物体表面颜色和光洁度无特殊要求,无论物体表面是漫反射或高光面,甚至是镜面。上海点光谱共焦传感器精度
测量状态指示灯包含三个LED信号灯,分别显示系统错误、光信号强度和量程预警。系统错误信号灯指示传输数据是否过载,光信号强度指示灯显示当前光强信号是否超过5%,而量程预警指示灯则显示测量样品是否在量程范围内。系统错误信号灯正常状态为关闭状态,即不显示任何颜色光。但当使用RS232或RS422接口同时传输数据时,测量频率和传输数据格式都可能影响数据传输量。当传输数据量过载时,该信号灯点亮为红色状态,此时则应该适当降低测量频率或更改数据传输格式。此外,选用USB方式传输则会较少遭遇数据过载情况。上海点光谱共焦传感器精度
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